【摘 要】
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根据电容式湿度传感器的感湿机理,采用新型含氟聚酰亚胺作为湿敏材料,制作出一种三明治结构的电容式湿敏元件,其主要由下极板、聚酰亚胺湿敏薄膜以及多孔上极板组成.对该种湿
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所,哈尔滨150001
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
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根据电容式湿度传感器的感湿机理,采用新型含氟聚酰亚胺作为湿敏材料,制作出一种三明治结构的电容式湿敏元件,其主要由下极板、聚酰亚胺湿敏薄膜以及多孔上极板组成.对该种湿敏元件的灵敏度、湿滞、温度系数、稳定性等湿敏特性进行了研究.结果表明,该湿敏元件的电容值对相对湿度的响应具有较好的线性,在20℃环境下,非线性误差为1.149％,灵敏度和湿滞分别为0.0785pF/％RH,0.57％RH,温度系数为-0.098％RH/℃,24h漂移率为±0.22％RH,年漂移率小于±1.5％RH,具有优异的长期稳定性.
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