激光修调厚膜电阻机理浅析

来源 :第九届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hao1238888
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该文着重讨论激光修调厚膜电阻时,激光机的输出功率、Q-开关速率、光斑直径、尖刻尺寸以及所选择的修调图形对厚膜电阻的影响。
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