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激光修调厚膜电阻机理浅析
激光修调厚膜电阻机理浅析
来源 :第九届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hao1238888
【摘 要】
:
该文着重讨论激光修调厚膜电阻时,激光机的输出功率、Q-开关速率、光斑直径、尖刻尺寸以及所选择的修调图形对厚膜电阻的影响。
【作 者】
:
艾红梅
【机 构】
:
第八九五厂
【出 处】
:
第九届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
:
1995年期
【关键词】
:
激光修调
厚膜电阻
机理
输出功率
开关速率
光斑直径
激光机
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该文着重讨论激光修调厚膜电阻时,激光机的输出功率、Q-开关速率、光斑直径、尖刻尺寸以及所选择的修调图形对厚膜电阻的影响。
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