【摘 要】
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硅微条探测器因其很强的位置分辨率与能量分辨率而广泛应用于世界各大物理实验室.本文描述了用微电子工艺研制的硅微条探测器的结构、工作原理、制备工艺和测试结果.已经研制
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,甘肃兰州730000
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硅微条探测器因其很强的位置分辨率与能量分辨率而广泛应用于世界各大物理实验室.本文描述了用微电子工艺研制的硅微条探测器的结构、工作原理、制备工艺和测试结果.已经研制出96条,条条符合实验要求的大面积单面硅微条探测器,该探测器灵敏面积为50mmX50mm,P掺杂面被等分成相互平行长度为50mm,宽度为/150μm的96条,相邻条之间间隔为50μm.当反向偏压为15V时,各微条反向漏电流均小于50nA.在真空条件下用239Puα.源测量得到各条能量分辨率在1％左右,有些条能量分辨率甚至达到了6‰.中国科学院近代物理研究所自行研制了大面积硅微条探测器，并成功应用于HIRFL-CSR的外靶终端谱仪(ETF)中，以实现径迹测量和离子鉴别。
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