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射频放电中,当气压较高时,欧姆加热维持放电;当气压较低时,无碰撞加热(或随机加热)起主导作用。在容性放电中,当电极间隙和驱动频率满足共振条件时,会出现共振加热现象,高能共振电子会增强等离子体密度以及发光强度,对等离子体诸多性质有重要影响。在电正性Ar放电中,放电模式可以在α-模式与γ-模式之间转变。在电负性气体放电中,放电模式可以在鞘层加热模式(或α-模式)与体区加热模式(或DA-模式)之间发生转变。实验上第一次观察到了强电负性气体放电中的多层激发现象,这与以前人们观察到的双层现象非常不同。