【摘 要】
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报道了碲镉汞(MCT)分子束外延(MBE)的最新研究进展。在现有中波工艺基础上，研究得到了Si基短波HgCdTe材料的生长工艺，进一步开发出Si基中/短波双色HgCdTe材料的生长工艺。
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报道了碲镉汞(MCT)分子束外延(MBE)的最新研究进展。在现有中波工艺基础上，研究得到了Si基短波HgCdTe材料的生长工艺，进一步开发出Si基中/短波双色HgCdTe材料的生长工艺。通过生长过程RHEED图像分析，高温计监测，优化了Si基中/短波双色HgCdTe材料生长工艺。获得了具有良好晶体质量的Si基中/短波双色HgCdTe材料。
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