【摘 要】
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溅射离子能谱承载的物理信息能反映溅射粒子电离几率与发射速度的相关性,可检验溅射过程的理论模型,有助于进一步理解入射离子在固体表面的能量耗散机制[1,2].目前,跨玻
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,兰州730000
【出 处】
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第十五届全国原子与分子物理学术会议
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溅射离子能谱承载的物理信息能反映溅射粒子电离几率与发射速度的相关性,可检验溅射过程的理论模型,有助于进一步理解入射离子在固体表面的能量耗散机制[1,2].目前,跨玻尔速度高电荷态离子在物质表面诱发的溅射离子能谱研究在理论和实验上尚属空白[3].本工作利用中科院近代物理研究所320kV ECRIS原子物理实验平台,首次获得了0.9vBohr、1.35 vBohr、1.8vBohr的Ar9+离子与金属铍靶和高定向性石墨靶碰撞产生的溅射离子能谱(入射角45°,出射角135°).如图1,2所示,由于未对溅射离子进行质量分析,图中给出的能量是由C+离子标度得到.
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