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提出了一种新的激光扫描制备大面积均匀薄膜的方法:采用光学变换让脉冲激光按设定的像月球绕太阳运动一样的轨迹旋转,复合剥离靶材制备薄膜.提出了淀积膜厚分布的理论模型,计算了有关参量对膜厚分布的影响,并与实验结果进行了比较分析.这对改善实验条件,获得最佳大面积均匀薄膜具有直接的指导意义.
激光复合扫描剥离法制备大面积薄膜
【摘 要】
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提出了一种新的激光扫描制备大面积均匀薄膜的方法:采用光学变换让脉冲激光按设定的像月球绕太阳运动一样的轨迹旋转,复合剥离靶材制备薄膜.提出了淀积膜厚分布的理论模型,计
【机 构】
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华中科技大学激光技术国家重点实验室(武汉)
【出 处】
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第十五届全国激光学术会议
【发表日期】
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2001年期
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