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随着晶体硅太阳电池技术的不断发展，电池表面钝化变得越来越重要。本文介绍了几种晶体硅电池表面钝化方法，包括等离子体增强化学气相沉积氮化硅、等离子体增强化学气相沉积非晶硅、热氧化二氧化硅以及原子层沉积三氧化二铝。从原理上对它们的钝化机理做出一定分析，并介绍了它们在应用上的优缺点。
晶体硅电池表面钝化技术进展
【摘 要】
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随着晶体硅太阳电池技术的不断发展，电池表面钝化变得越来越重要。本文介绍了几种晶体硅电池表面钝化方法，包括等离子体增强化学气相沉积氮化硅、等离子体增强化学气相沉积非晶
【机 构】
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中山大学太阳能系统研究所,广东 广州 510006
【出 处】
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第十一届中国光伏大会暨展览会
【发表日期】
：
2010年期
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