【摘 要】
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介绍了一台低成本稳定的常压微波等离子体射流装置，给出了该设备组成以及谐振腔的构造，数值求解了设备中矩形TE103谐振腔中的电磁场分布，应用有限元模拟分析软件HFSS对谐振
【机 构】
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武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料重点实验室,武汉 430073
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介绍了一台低成本稳定的常压微波等离子体射流装置，给出了该设备组成以及谐振腔的构造，数值求解了设备中矩形TE103谐振腔中的电磁场分布，应用有限元模拟分析软件HFSS对谐振腔及喷嘴尖端的电场分布进行了仿真，在此基础上对装置进行调节，并进行了氩气的放电实验研究，实验的结果证明了模拟的正确性和装置的有效性，为设计高效微波等离子体炬装置提供了理论依据。
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