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本文介绍了电泳抛光技术在功能陶瓷表面加工中的应用,并在自行改装的电泳抛光机上对半导体硅板进行了抛光试验,获得了电压、抛光间隙、抛光时间对抛光效率的影响规律,为电泳抛光技术的深入应用奠定了基础.
功能陶瓷表面电泳抛光的实验研究
【摘 要】
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本文介绍了电泳抛光技术在功能陶瓷表面加工中的应用,并在自行改装的电泳抛光机上对半导体硅板进行了抛光试验,获得了电压、抛光间隙、抛光时间对抛光效率的影响规律,为电泳
【机 构】
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大连铁道学院机械工程系(辽宁大连)
【出 处】
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第七届全国摩擦学大会
【发表日期】
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2002年期
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