【摘 要】
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Full-field transmission X-ray microscopy(TXM)is widely applied in basic study of science,covering microelectronics,bioscience,organic chemistry,materials science,etc [1].The key components in X-ray op
【机 构】
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Nanolithography and Application Research Group,State key lab of Asic and System,School of Informatio
【出 处】
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The 6th International Conference on Nanoscience and Technolo
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Full-field transmission X-ray microscopy(TXM)is widely applied in basic study of science,covering microelectronics,bioscience,organic chemistry,materials science,etc [1].The key components in X-ray optics are condensers providing an illumination onto the testing samples and the high-resolution zone plate as an objective lens forming a magnified image of the sample [2,3].So the high aspect ratio(height/width)condensers and zone plates are very important.
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