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蓝宝石基片退火预处理对氧化镓薄膜结晶质量及其紫外光敏特性的影响
【机 构】
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微电子与固体电子学院,电子科技大学,成都,610054
【出 处】
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第十二届全国分子束外延学术会议
【发表日期】
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2017年期
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