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本文提出了一种新型尖端结构表面传导电子发射导电薄膜,此结构电子发射导电薄膜在中间部位因尖端结构的存在而最窄,在纳米级裂缝电形成工艺过程中电流流过时会在尖端附近产生热应力集中,从而容易导致纳米级裂缝在导电薄膜中间部位形成。实验结果表明,新型导电薄膜结构可以实现纳米级裂缝的可控形成,有利于改进表面传导电子发射的均匀性。