金属铁电体半导体隧道结中铁电极化调制肖特基势垒研究

来源 :第十六届全国电介质物理、材料与应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:intaaab
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  铁电隧道结具有金属/铁电体/金属(MFM)结构,以几个纳米厚度的铁电体作为势垒层,铁电层中自发极化方向的翻转调制了结势垒高度,从而使隧道结获得两个非挥发的高(OFF),低(ON)电阻态。相比于传统铁电随机存储器(FeRAM),铁电隧道结具有非破坏性数据读出、超高存储密度、低能耗等优势。
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