具有抗反射率能力的激光差动共焦显微成像新方法

来源 :中国仪器仪表学会第十六届青年学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:metoo321
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  共焦显微镜(CM)由于具有光学领域独特的轴向层析能力、横向高分辨能力以及便于与光瞳滤波器结合进行超分辨成像能力,在微电子制造、工业精密检测、生物医学、材料工程等领域得到广泛应用。然而现有共焦显微成像方法存在以下不足:1)利用焦点逐层扫描,成像效率低;2)探测焦点对应轴向响应曲线灵敏度最差的顶点,轴向分辨能力不高;3)易受环境光、光源功率波动等影响,系统信噪比低。为了弥补上述不足,研究了差分共焦显微成像方法和差动共焦显微成像方法,但是其只适用于单一折射率样品的扫描测量,测量结果仍然受激光光源波动、环境光扰动、表面反射率差异等影响。为此,本文提出了一种具有抗反射率能力和快速成像能力的实时激光差动共焦显微成像方法,实现对任意样品的单层扫描、快速、高分辨力、高信噪比的高度轮廓成像。
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