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半导体装备控制系统公共IO服务接口研究
半导体装备控制系统公共IO服务接口研究
来源 :第五届全国信息获取与处理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hw0303
【摘 要】
:
半导体装备控制系统中,不同技术、多种通信标准的输入、输出控制方法共存,给控制系统的实现带来很大的麻烦.本文提出了一种基于统一架构的公共IO服务接口方法,为控制系统应用不
【作 者】
:
刘明哲
徐皑冬
康凯
【机 构】
:
中国科学院沈阳自动化研究所,沈阳,110016
【出 处】
:
第五届全国信息获取与处理学术会议
【发表日期】
:
2007年期
【关键词】
:
半导体
装备
控制系统应用
公共
通信标准
控制方法
接口方法
技术细节
一致性
思路
输入
输出
架构
服务
操作
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半导体装备控制系统中,不同技术、多种通信标准的输入、输出控制方法共存,给控制系统的实现带来很大的麻烦.本文提出了一种基于统一架构的公共IO服务接口方法,为控制系统应用不必考虑具体通信技术细节而达到操作上的一致性提供一种思路。
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