【摘 要】
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基于MEMS技术加工的高分子薄膜湿敏电容具有良好的线性度、一致性和抗腐蚀能力,并且成本低,适合大量生产.这种湿敏电容增加抗油液腐蚀处理后,用于油液环境中时,可快速吸收溶
【机 构】
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中航工业北京长城航空测控技术研究所,北京市经济技术开发区经海2路29号院9号楼100176
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
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基于MEMS技术加工的高分子薄膜湿敏电容具有良好的线性度、一致性和抗腐蚀能力,并且成本低,适合大量生产.这种湿敏电容增加抗油液腐蚀处理后,用于油液环境中时,可快速吸收溶解在油液里面的溶解水,实时显示当前油液水分含量,并且与油液种类、老化程度无关,仅与油液水分的饱和度有关.传感器可用于在线监测油液里的溶解水分的含量,若油液的种类已知,传感器可以测出油液的绝对含水量(低于饱和度以下的)。
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