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肖特基二极管(SBD)是利用金属与半导体之间接触势垒进行工作的一种多数载流子器件,与普通PN结二极管相比,具有正向导通电压低,响应速度快等优良特性。因此SBD在高频整流、开关电路和保护电路中作为整流和续流元件,可以大幅度降低功耗,提高电路效率和频率,降低噪声。本文以探索肖特基二极管混频器芯片技术研究为目的,从理论结构设计、材料制备、工艺化过程几个方面介绍了常见肖特基二极管器件的发展现状,包括Si-SBD,SiC-SBD.GaAs-SBD等,为肖特基二极管混频器芯片技术研究提供了有力的理论依据和实验指导。