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会议论文
厚膜微带技术研究
厚膜微带技术研究
来源 :第十二届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:man1300
【摘 要】
:
本文论述了制作厚膜微带电路的工艺技术途径,并对其膜厚的致密性作了进一步的研究,研制的样品在11GHz下进行微波性能测试,表现出良好的特性.
【作 者】
:
时国忠
党耀石
【机 构】
:
航天机电集团公司二院二十五所
【出 处】
:
第十二届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
:
2001年期
【关键词】
:
厚膜
微带电路
性能测试
工艺技术
致密性
制作
样品
微波
特性
膜厚
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本文论述了制作厚膜微带电路的工艺技术途径,并对其膜厚的致密性作了进一步的研究,研制的样品在11GHz下进行微波性能测试,表现出良好的特性.
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