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去除GaAs，InP，GaInAsP表面碳（或碳氢化合物）的污染及去除GaAs表面氢（或还原氧化物）的污染
【机 构】
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中国科学院电子学研究所
【出 处】
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全国光电子研究生学术报告会
【发表日期】
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1986年期
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