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本文采用数值分析方法对溅射工艺数据进行分析,得出了工艺数据的拉格朗日插值方程和最小二乘法拟合方程,并应用来解决实际工作中的问题.
数值分析在溅射工艺技术中的应用
【摘 要】
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本文采用数值分析方法对溅射工艺数据进行分析,得出了工艺数据的拉格朗日插值方程和最小二乘法拟合方程,并应用来解决实际工作中的问题.
【机 构】
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信息产业部电子二十四所,重庆,南坪,400060
【出 处】
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中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会
【发表日期】
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2002年期
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