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采用PLD法在单晶Si片上制备了PZT铁电薄膜，用XRD,SEM研究了薄膜的结构、形貌。讨论了工艺参数对薄膜特性的影响。在SEM下进行了拉伸和三点实验，动态的观察了薄膜变形断裂过程。
压电薄膜材料PZT的脉冲激光法制备及其力学性能
【摘 要】
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采用PLD法在单晶Si片上制备了PZT铁电薄膜，用XRD,SEM研究了薄膜的结构、形貌。讨论了工艺参数对薄膜特性的影响。在SEM下进行了拉伸和三点实验，动态的观察了薄膜变形断裂过程。
【机 构】
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湘潭大学基础力学与材料工程研究所(湖南湘潭)湘潭大学基础力学与材料工程研究所
【出 处】
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力学2000学术大会
【发表日期】
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2000年8期
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