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芯片介电电泳是一种有效的分离中性粒子的微流控分离技术。本文利用微加工工艺，在Pyrex玻璃表面沉积了平面叉指型电极和表面电铸有三维小立柱结构的“叉指型”复合金属电极，并用PDMS制作了具有微通道的盖片，键合形成介电电泳芯片。以溶解有聚苯乙烯粒子的KCI溶液为操作悬浮溶液，进行了正向介电电泳实验，结果发现，与平面电极芯片相比，具有三维立柱结构电极的芯片可以在更大的范围内实现对粒子的吸附，从而提高介电电泳的分离效率。