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该文建立了两种不同结构形式的平膜片应变式压力传感器的动态数学模型。对不带管腔的情况，采用同时辩识模型阶次和参数的方法；对带管腔的情况采用了共振峰提取的方法。文中同时给出了上述两种情况的时域样准数据以及相应的参数模型。
应变式压力传感器动态模型建立方法
【摘 要】
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该文建立了两种不同结构形式的平膜片应变式压力传感器的动态数学模型。对不带管腔的情况，采用同时辩识模型阶次和参数的方法；对带管腔的情况采用了共振峰提取的方法。文中同时
【机 构】
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航天科技集团公司第701研究所(北京)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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