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本文采用电感耦合等离子体(ICP)增强射频磁控溅射技术在M2钢表面制备了ZrN薄膜,研究N2流量对ZrN薄膜的结构和性能影响。将M2钢和ZrN薄膜试样分别在3.5%NaCl水溶液进行电化学腐蚀对比实验。结果表明:ZrN薄膜自腐蚀电位提高450-550mv,腐蚀电流密度降低至1/167-1/53,ZrN薄膜的耐腐蚀性能比M2钢基底有明显提高。