论文部分内容阅读
主要介绍华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室与广州新视界光电科技有限公司共同研发的稀土掺杂的新型氧化物半导体材料与薄膜晶体管阵列(TFT)技术,以及基于柔性塑料衬底的薄膜封装和应力控制技术的全彩色、可折叠的柔性AMOLED显示屏。开发了利用镧系稀土元素掺杂的IZO(In-Zn-O)新型非晶氧化物半导体材料Ln-IZO,其具有迁移率高、稳定性好等优势；开发了新型BCE(Back Channel Etching)器件结构和制造工艺,五次光刻完成TFT器件制备,高技术适用多种半导体材料,与当前成熟的a-Si TFT工艺兼容度高,可有效降低生产成本。