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在3umP阱CMOS兼容纵向PNP管工艺研制过程中,在众多工艺参数中发现纵向PNP晶体管电流放大系数β相关性最强的是作为纵向PNP管集电极的P阱注入剂量,在允许的P阱注入剂量变化范围中与纵向PNP晶体管电流放大系数有正相关的特点.
一种3um P阱CMOS兼容纵向PNP晶体管β的研究
【摘 要】
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在3umP阱CMOS兼容纵向PNP管工艺研制过程中,在众多工艺参数中发现纵向PNP晶体管电流放大系数β相关性最强的是作为纵向PNP管集电极的P阱注入剂量,在允许的P阱注入剂量变化范围中与纵向PNP晶体管电流放大系数有正相关的特点.
【机 构】
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信息产业部电子24所军用模拟集成电路重点实验室,重庆南坪花园路14号,400060
【出 处】
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中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会
【发表日期】
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2002年5期
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