【摘 要】
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采用溶胶凝胶法制备ZnO:Al薄膜,研究掺杂浓度、热处理温度对薄膜的结晶性能、微观形貌以及电学性能的影响.用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对其物相、结构和形貌进
【机 构】
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浙江大学 材料科学与工程学系,浙江 杭州 310027
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采用溶胶凝胶法制备ZnO:Al薄膜,研究掺杂浓度、热处理温度对薄膜的结晶性能、微观形貌以及电学性能的影响.用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对其物相、结构和形貌进行分析,霍尔效应测量系统测试薄膜的电阻率.分析表明:在溶胶浓度为0.6 mol/L,Al掺杂浓度为1.0％,前期热处理温度与后期热处理温度在400～450℃区域内,ZnO薄膜表面致密,晶体颗粒均匀,(002)晶面取向性好,且其表面电阻率最低,为47.17Ω·cm.
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