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本文利用MD模拟的结果,基于德拜模型和Callaway模型的固体热导率理论对纳米氩薄膜热导率进行了分析.结果表明:选择适当的参数,基于德拜模型和Callaway模型的固体热导率理论能很好地描述纳米氩薄膜的热导率.本文还从理论上说明了纳米氩薄膜热导率的尺寸效应是由声子在薄膜边界散射引起的,空位缺陷对薄膜热导率的影响机理与尺寸效应的机理不同.