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磁控溅射功率及基片温度对LiCoO2薄膜的影响
【机 构】
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电子科技大学 微电子与固体电子学院,四川 成都 610054 电子科技大学 微电子与固体电子学院,
【出 处】
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第七届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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2010年5期
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