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以锆英石和活性炭为原料，采用微波碳热还原法制备了ZrC-SiC复合粉体，对其合成过程进行了热力学分析，并研究了反应温度、添加剂的用量和埋粉等工艺条件对合成的ZrC-SiC复合粉体的物相组成和显微结构的影响。结果表明，提高反应温度和在反应物中添加B2O3有助于促进ZrC-SiC复合粉体的合成，而将反应物埋入SiC粉对该复合粉体的合成则有抑制作用。与常规加热相比，微波加热法可以有效地降低碳热还原反应的起始温度，并且减少制备过程的时间和能耗。