【摘 要】
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分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料.通过一元羧酸和二乙烯基醚的反应,得到了几种新颖的酯缩醛结构小分子化合物。这些有机化合物是无定形的,具有好的成膜性。它们可溶于常用的溶剂,具有高的热稳定性。在室温或稍高温度下,这些酯缩醛化合物可以被光产酸剂(PAG)产生的强酸很快分解,从而易溶于稀碱水溶液。它们与光产酸剂可组成化学增幅型正性分子玻璃抗蚀剂。初步测试了其成像性质。
【机 构】
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北京师范大学化学学院,北京 100875
【出 处】
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2008非银盐影像技术及材料发展与应用学术研讨会
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分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料.通过一元羧酸和二乙烯基醚的反应,得到了几种新颖的酯缩醛结构小分子化合物。这些有机化合物是无定形的,具有好的成膜性。它们可溶于常用的溶剂,具有高的热稳定性。在室温或稍高温度下,这些酯缩醛化合物可以被光产酸剂(PAG)产生的强酸很快分解,从而易溶于稀碱水溶液。它们与光产酸剂可组成化学增幅型正性分子玻璃抗蚀剂。初步测试了其成像性质。
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