【摘 要】
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在制造高精度非球面光学元件过程中，能够对元件的面形精度进行正确评价，并提取出有效的面形误差信息量，是指导计算机控制光学非球面元件超精密制造的一项关键技术，也是直接影响工件面形精度收敛效率的一个重要因素，本文针对非球面反射镜光学级检测技术进行广泛探讨，设计出实用型 Dall 补偿器及自准直干涉测量光路。针对课题研究中一具有中心孔抛物面镜制造实例，采取自准直干涉检测方案，得到了 λ/20 的检测结果。
【机 构】
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清华大学精密仪器系,北京,100084
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在制造高精度非球面光学元件过程中，能够对元件的面形精度进行正确评价，并提取出有效的面形误差信息量，是指导计算机控制光学非球面元件超精密制造的一项关键技术，也是直接影响工件面形精度收敛效率的一个重要因素，本文针对非球面反射镜光学级检测技术进行广泛探讨，设计出实用型 Dall 补偿器及自准直干涉测量光路。针对课题研究中一具有中心孔抛物面镜制造实例，采取自准直干涉检测方案，得到了 λ/20 的检测结果。
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