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本文建立了单片式电容位移传感器的三维仿真数学模型,运用ANSYS软件对不同参数的传感器进行了仿真,比较分析了电极间距、电极长宽比、被测物距离等对传感器灵敏度的影响,为单片式电容位移传感器的结构设计提供了依据。
基于ANSYS的电容位移传感器设计
【摘 要】
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本文建立了单片式电容位移传感器的三维仿真数学模型,运用ANSYS软件对不同参数的传感器进行了仿真,比较分析了电极间距、电极长宽比、被测物距离等对传感器灵敏度的影响,为单
【机 构】
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西南交通大学信息科学与技术学院,成都 610031
【出 处】
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2009四川省电子学会半导体与集成技术专委会学术年会
【发表日期】
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2009年期
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