【摘 要】
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异质外延生长晶体与衬底材料晶体之间不可避免地存在晶格失配,外延薄膜中往往会因失配应变场作用诱发形成大量的失配位错,它们往往严重降低薄膜晶体的使用性能。以面心立方金
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异质外延生长晶体与衬底材料晶体之间不可避免地存在晶格失配,外延薄膜中往往会因失配应变场作用诱发形成大量的失配位错,它们往往严重降低薄膜晶体的使用性能。以面心立方金属铝为研究对象,运用分子动力学方法模拟研究了失配位错形成的动力学条件、形成的原子过程、位错的结构和一种通过纳米晶柱阵列衬底抑制失配位错的方法。
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