【摘 要】
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<正> 掺锡氧化铟(Indium Tin Oxide,ITO)薄膜是一种用途广泛的半导体材料,它具有优良的导电性能、高的可见光透过率、良好的机械硬度和化学稳定性,做为透明电极材料被广泛应
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<正> 掺锡氧化铟(Indium Tin Oxide,ITO)薄膜是一种用途广泛的半导体材料,它具有优良的导电性能、高的可见光透过率、良好的机械硬度和化学稳定性,做为透明电极材料被广泛应用在液晶显示器、等离子显示器、触摸屏、太阳能电池等电子仪表。本文论述了大面积高透明聚合物膜基底上以ITO为主膜结构的多层透明导电膜的制备,光学性能,热控性能等,以及在汽车太阳膜、建筑玻璃特种隔热温控薄膜生产技术的推广。在0.4μm≤λ≤1μm光谱范围内,ITO膜的透过率τ(λ)高达95%以上,反射率R(λ)在10%～20%间波动,而在较长波段范围,反射率R(λ)逐渐增大,当λ=25μm时,R(λ)达到80%以上。
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