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光电解吸气载是同步辐射光束线特有的解吸气载。经研究,光电解吸气载是光束线真空系统动态情况下的主要气载。在整个光电解吸过程中,光电子及二次电子对真空材料表面吸附气体的激发起主要作用。利用电子激发气体解吸实验(ESD)装置对不同材料不同处理工艺下的电子激发气体进行研究具备了重要的意义。本文针对电子激发气体解吸实验的物理过程,进行了大量的理论计算和分析,研制出了在电子能量400eV~1000eV 范围内的电子激发气体解吸实验装置,为研究光束线不同真空材料的最佳加工和处理工艺提供实验依据。