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三维SiGe量子点晶体及单双SiGe量子点的可控生长
三维SiGe量子点晶体及单双SiGe量子点的可控生长
来源 :中国物理学会2013年秋季学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gongpeng
【摘 要】
:
近些年来,随着硅半导体工艺的发展与微纳加工技术的成熟,人们可以方便的在块材、薄膜等材料上加工各种丰富的纳米结构,进而实现对光子、电子的限制与调控。
【作 者】
:
马英杰
钟振扬
夏劲松
蒋最敏
【机 构】
:
应用表面物理国家重点实验室,复旦大学,上海,200433
【出 处】
:
中国物理学会2013年秋季学术会议
【发表日期】
:
2013年期
【关键词】
:
三维
SiGe
量子点
晶体
微纳加工技术
半导体工艺
纳米结构
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近些年来,随着硅半导体工艺的发展与微纳加工技术的成熟,人们可以方便的在块材、薄膜等材料上加工各种丰富的纳米结构,进而实现对光子、电子的限制与调控。
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