硅基平台相关论文
对在硅基上制作微带线做了研究,发现金属布线和硅衬底之间的介质层对微带线的传输特性影响很大,在介质层SiO的厚度较薄(≤1μm)的......
本文对光电混合集成收发模块硅基平台微带线进行了模拟设计,通过建立了一个6层结构的物理模型,对两种微带线尺寸的S参数进行了研究......
对光电发射模块中激光器与光纤的无源耦合作了研究.利用成熟的100mm硅工艺研制成功了无源耦合用硅基平台,并可以批量生产.在此基础......
