光掩膜相关论文
本文采用基于金兹堡-朗道理论（Ginzburg-Landau theory）的元胞动力学方法（Cell Dynamic System）研究了光掩膜诱导的聚合物/纳米粒子共......
期刊
玻璃是最古老的人工合成材料之一。人们经过了数百年后逐渐获得了有关玻璃的认识,但对玻璃进行科学研究还是在十九世纪初从法拉第......
半导体组装业正在红火起来,随着芯片销售量的快速增长,越来越多的芯片制造商正把芯片后道工序的加工转包给独立承包商,以便他们能......
目前,在某些工业国家,信息行业创造的产值已在国民经济总产值中占40%～60%,甚至国民经济总产值增长部份的65%都与微电子有关。微电......
中国电子科技集团公司第二十四研究所(四川固体电路研究所)位于重庆市南坪经济技术开发区,是中国最早成立的半导体集成电路专业研......
美国IBM公司与Toppan Printing公司同意联合开发下一代45 nm半导体制程用的光掩膜。这两家公司开发一种光掩膜工艺,意在能及早地制......
据有关媒体报导,国内同行业中,投资规模最大的中芯国际集成电路制造公司天津硅圆片生产线改造项目,已于不久前基本完成了厂房净化......
引 言 光刻是一种精密的表面加工技术,是由照相和化学腐蚀相结合,在集成电路和半导体器件表面修刻的关键工艺。它最初出现在印刷照......
和几乎所有半导体光刻领域涉及的其它事情一样,光掩膜缺陷检测和消除正经历着一场革命,因为新的缺陷类型需要更多创新的清洗设备和......
中芯国际集成电路制造有限公司于3月18日至20日在上海新国际博览中心参加了SEMICON China2008展会,这是中芯国际连续第五年参加该......
过去只能采用可变成形电子束系统印制临界和亚临界的65与45nm光掩膜。该系统的刻写时间取决于数据量大小,并且比较昂贵。现在,通过......
随着改革的不断推进和科技的发展,我国从一个落后的PCB生产国一跃成为世界的先进大国,2003年我国PCB的总产值居世界排行榜第二,PCB......
美国麻省理工学院(MIT)的研究人员日前发表的一项研究成果显示,电子束“光刻”精度可以小到9纳米的范围,刷新了以前一项精度为25纳......
飞秒激光能够利用超高速的速度将能量集中在一个限定的区域，这样就能够实现对材料的冷加工。目前，在材料微加工中，对飞秒激光的应用已......
摘 要：以往清洗光掩膜时采用的清洗技术用到了浓硫酸、SC-1等溶剂，会在一定程度上导致硫酸根以及铵根离子残留在膜表面。随着微影技......
一、引言摆在半导体工业面前最严重的问题之一,是如何制造尺寸精确而无缺陷的光掩膜。掩膜的质量改进越大,则集成电路和大规模集......
日前,中国建材工程的新型垂直搅拌器项目“荣获2015年度上海市职工合理化建议项目创新奖”。该项目的成功实施应用,可直接推动中国......
采用自组装单层膜(self-assembled monolayers,SAMs)技术在玻璃基板表面制备了十八烷基三氯硅烷(octadecyltrichlorosilane,OTS)-S......
论述了对微型齿轮、微型涡轮和微型悬臂梁等微型机械零件的研制．介绍了通过计算机辅助设计，利用ＩＣ的微细加工技术，采用射频溅射和光刻技......
在西方世界,商品激光器市场上最大的应用门类是材料处理用的激光器,销售额约占四分之一左右。用于切割、焊接及打孔等的主要是CO_......
本文报导了LiNbO_3波导元件制造中一个具有重要意义的新工艺方法。EDTA溶液和光掩膜结合起来用于刻蚀钛以形成新的波导结构。它使......
半导体工程师寻找有用的自显影光刻胶已有多年。这种光刻胶可用于半导体加工过程中很少几个阶段,可能节约生产成本。虽然已研究过......
超高频(SHF)广播可使各家庭中的接收机直接具有以往需由卫星中继地面站来完成的功能.对于接收机来说,最重要的是高性能、体小量轻......
本文介绍了光CVD的基本原理、设备及典型工艺条件,成膜性能和在半导体工艺中的应用.文中还讨论了光CVD的应用前景。
This paper i......
光掩膜的制造是集成电路制造的关键工艺,掩膜的质量是直接影响到集成电路的技术性能和产品的成品率。特别是由于集成电路向着高密......
提出设计多种用途的微型薄膜电感器的理论根据和技术。这些电感器采用金薄膜螺旋形式,且用沉积铁氧体薄膜密封,电感量范围从1～1200......
本文介绍了制备X射线深度曝光掩膜的新方法.该方法采用Microlithography公司的SU8胶(厚约20微米),只需一次紫外曝光/电镀就得到所......
计算机的性能主要取决于处理器芯片的运算速度和内存容量的大小，而处理器芯片的运算速度和内存容量的大小又主要决定于光刻技术中的......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
在光掩膜领域,我们清楚地看到显示器市场和半导体市场的快速增长.与此同时电子封装市场也在不断地激励着技术革新.......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
近年来,在市委市府聚焦张江的战略决策指导下,上海市张江高科技园区在建设中国大陆集成电路产业高地、构造较完整的集成电路产业......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
以铈、混合稀土为主体的抛光粉市场看好,而且其需求结构也发生变化。主市场由过去的光学玻璃(照相机、眼镜用透镜等)抛光粉转向液......
【正】有个利好消息:眼下半导体行业从90nm技术向65nm 工艺的过度为晶圆加工设备制造商提供了大量的增长良机。随着过渡继续朝着三......
1光掩模玻璃基板的定义及种类1.1光学掩模板的定义及分类1.1.1光学掩模板的定义光学掩模板,又称光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜......
光掩膜作为光转印模具,大量应用于柔性电路版、平板显示、触摸屏、大规模集成电路等行业,是现代电子工业生产中不可或缺的基础设备......
<正>在光掩膜领域,我们清楚地看到显示器市场和半导体市场的快速增长。与此同时电子封装市场也在不断地激励着技术革新。显示器市......
本论文基于对SU-8工艺参数的优化、光掩膜的设计与制作,以及新型封盖技术,制备了一种简单、快速、低成本的聚合物基(如SU-8、环氧......
本文从理论和实验两个方面研究了玻璃基光刻铬掩膜板的膜系设计以及其在真空环境中的制备。以光学薄膜设计中的隐含规律为基础,采......
