用光纤传感器自动绝对测量边缘位置系统

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一、前言双望远显微镜法是一种测量样品的尺寸或长度变化的有效方法。这种方法很可靠,在结构上十分简单,同时对于测量固体材料的高温热膨胀系数来说又是最有效的。然而它也有一些不足之处,诸如:在长度测量方面灵敏度不够(系统的最大分辨率为1μm左右),系统必须 I. Introduction Bifocal microscopy is an effective method of measuring the size or length of a sample. This method is reliable, structurally simple and at the same time is most effective for measuring the high temperature coefficient of thermal expansion of solid materials. However, it also has some shortcomings, such as: lack of sensitivity in the length measurement (the maximum resolution of the system is about 1μm), the system must
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