【摘 要】
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环形谐振腔可用于高精度高灵敏度传感,将环形谐振腔与悬臂梁式压力传感器相结合,推导了该压力传感器的灵敏度的表达式,灵敏度会随着所施加压强的不同而变化,当施加的压强为1 kPa时,灵敏度为71.73 pm/kPa.采用低损耗的绝缘体上铌酸锂(LNOI)来设计环形谐振腔,极大地提高了压力传感器的Q值,可提高测得压力的精度.深入分析了临界耦合与非临界耦合、波导损耗、环形波导周长对Q值的影响,并借助Matlab对其进行了分析.结果 表明:对Q值影响最大的是波导损耗;环形波导周长增加不会直接增大Q值,但会降低损耗,从
【机 构】
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北京理工大学光电学院信息光子技术工信部重点实验室,北京100081;山东大学信息科学与工程学院,山东济南250100
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环形谐振腔可用于高精度高灵敏度传感,将环形谐振腔与悬臂梁式压力传感器相结合,推导了该压力传感器的灵敏度的表达式,灵敏度会随着所施加压强的不同而变化,当施加的压强为1 kPa时,灵敏度为71.73 pm/kPa.采用低损耗的绝缘体上铌酸锂(LNOI)来设计环形谐振腔,极大地提高了压力传感器的Q值,可提高测得压力的精度.深入分析了临界耦合与非临界耦合、波导损耗、环形波导周长对Q值的影响,并借助Matlab对其进行了分析.结果 表明:对Q值影响最大的是波导损耗;环形波导周长增加不会直接增大Q值,但会降低损耗,从而间接增大Q值.计算结果表明,当环形波导半径为80 μm,损耗为0.6322 m-1时,Q值高达5.7× 106.
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