【摘 要】
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描述了ZnSxSe1-x光盲紫外液晶光阀的结构和工作原理,并从器件的电学模型出发,着重讨论了整体器件对ZnSxSe1-x光敏层的特殊要求.采用分子束外延技术在ITO导电玻璃上制备了具有
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室,香港科技大学物理系,浙江大学硅材料国家重点实验室
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描述了ZnSxSe1-x光盲紫外液晶光阀的结构和工作原理,并从器件的电学模型出发,着重讨论了整体器件对ZnSxSe1-x光敏层的特殊要求.采用分子束外延技术在ITO导电玻璃上制备了具有(111)面定向生长结构的ZnSxSe1-x多晶薄膜,通过控制反应时的生长参数,制备出了符合器件设计要求的光敏层薄膜.室温下,该薄膜的紫外/可见光响应对比度大于103;响应波长截止边可通过控制薄膜中的Se组分,在(360～410)nm范围内连续可调;薄膜的暗电阻率在(4.32 × 109～2.03×101
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