【摘 要】
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硼碳氮（BCN）三元化合物薄膜具有原子可调组成比，并且能够展现出相应的材料特性，因此在力、热、光、电子学等领域拥有广阔的应用前景。本文采用射频磁控溅射法在硅衬底上通过调节通入的氮气流量，合成了一系列不同组分的BCN薄膜。发现随氮气流量的增加，所制备的BCN薄膜中氮原子浓度最高可达～14 at.%。为探讨BCN三元体系中的结构性质变化，利用拉曼光谱系统地研究了不同氮气流量所制备的BCN薄膜。结果表明
【基金项目】
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国家自然科学基金（No.51872113; No.51572105）；
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硼碳氮（BCN）三元化合物薄膜具有原子可调组成比，并且能够展现出相应的材料特性，因此在力、热、光、电子学等领域拥有广阔的应用前景。本文采用射频磁控溅射法在硅衬底上通过调节通入的氮气流量，合成了一系列不同组分的BCN薄膜。发现随氮气流量的增加，所制备的BCN薄膜中氮原子浓度最高可达～14 at.%。为探讨BCN三元体系中的结构性质变化，利用拉曼光谱系统地研究了不同氮气流量所制备的BCN薄膜。结果表明，随氮的逐渐引入，除常见的拉曼D峰和G峰外，光谱中还出现了N=N的拉伸振动模式。另外，样品的无序度也导致了拉曼光谱发生了整体的变化。
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