【摘 要】
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报道了采用ＰＥＣＶＤ方法制备多层薄膜材料，研究了不同结构薄膜材料的气敏特性，制得了具有优越性能的ＮＯｘ、乙醇和ＴＭＡ气体传感器
Reported the use of PECVD method to prepare multi-layer th
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报道了采用ＰＥＣＶＤ方法制备多层薄膜材料，研究了不同结构薄膜材料的气敏特性，制得了具有优越性能的ＮＯｘ、乙醇和ＴＭＡ气体传感器
Reported the use of PECVD method to prepare multi-layer thin film materials, gas-sensing properties of different structural thin film materials, prepared with superior performance of NOx, ethanol and TMA gas sensors
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