【摘 要】
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针对3ω导热系数测试方法中热辐射对测量结果的影响，利用有限元仿真手段，对线宽因素和热辐射效应关系进行了研究。结果显示，在仿真模型条件下，辐射热流量随电极线宽增大而增大，且曲线斜率以100μm为拐点有显著提升。分析表明：在100μm以上线宽范围，辐射强度对线宽尺寸较为敏感，减小线宽能够获得较明显的辐射抑制收益；在100μm范围，减小线宽对辐射的抑制作用相对弱化。研究结果能够为3ω电极设计提供参考，进
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针对3ω导热系数测试方法中热辐射对测量结果的影响，利用有限元仿真手段，对线宽因素和热辐射效应关系进行了研究。结果显示，在仿真模型条件下，辐射热流量随电极线宽增大而增大，且曲线斜率以100μm为拐点有显著提升。分析表明：在100μm以上线宽范围，辐射强度对线宽尺寸较为敏感，减小线宽能够获得较明显的辐射抑制收益；在100μm范围，减小线宽对辐射的抑制作用相对弱化。研究结果能够为3ω电极设计提供参考，进一步提升方法测试准确性。
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