圆光栅副的系统误差分析

来源 :沈阳工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dsgver5r33
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圆光栅副的系统误差主要包括微量不等距系统误差,均匀性误差,光栅栅线刻划误差等三种误差。分析它们产生的原因和它们对莫尔条纹的影响 The systematic errors of the circular grating include three kinds of errors, such as micro-unequally-spaced system error, uniformity error and grating rasterization error. Analyze their causes and their effects on moiré fringes
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