深亚微米级集成电路早期失效检测的研究

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随着信息技术的迅猛发展,半导体集成电路成为战略武器系统、航空航天电子设备、工业控制等科技领域的核心部件,因此其可靠性就成为衡量集成电路的关键指标,其重要性甚至不亚于集成电路的电气性能指标。   Burn-in检测是目前电子类产品检测中最为重要的一项程序,它的主要作用就是筛选出具有缺陷和潜在缺陷的产品,防止产品出现早期失效,提高产品的可靠性。本论文主要以汽车电子为例,对该类芯片的可靠性问题做了深入研究。针对Burn-in技术的不足之处做了分析和改进,并设计两种检测效率更高,检测成本更低的测试方法,然后通过大量的实验数据验证了这两种方法的可行性和实用性。   一.为解决Burn-in设备昂贵,测试时间长,测试成本高等问题,设计了利用IDDQ电流测试原理进行片内测试的方法,经过实验验证了IDDQ片内测试可以比片外测试具有更好的测试覆盖率,更快的测试速度以及更精确的测试结果。   二.针对集成电路集成密度更高,功能越多的趋势,设计了一种新的测试方法——MINVDD测试,经过多次实验,证明了MINVDD测试方法的可靠性和高效性。
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