MEMS空气质量气体传感器的研究

来源 :第十四届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：skjthit

【摘要】

：

介绍了以MEMS技术为的半导体类空气质量传感器,常见的有膜式结构和悬臂梁式结构.分别阐述了不同结构传感器的特点,并介绍了MEMS半导体气敏传感器的发展前景.

【作者】

：

王利利葛倩乔磊

【机构】

：

郑州炜盛电子科技有限公司,郑州45000

【出处】

：

第十四届全国敏感元件与传感器学术会议

【发表日期】

：

2016年期

【关键词】

：

MEMS技术空气质量传感器半导体气敏传感器梁式结构发展前景不同结构悬臂特点膜式

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