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软硬交替相关论文
调制比对HiPIMS制备多层DLC薄膜耐腐蚀性能的影响
为获得具备优异耐腐蚀性能的类金刚石(DLC)涂层,采用高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)在硅片表面制备软(低sp3含量)硬(高sp3含量)交......
期刊
DLC薄膜
软硬交替
调制比
电阻率
残余应力
耐腐蚀性
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